一种微环谐振器及其制备方法

本发明涉及一种微环谐振器及其制备方法，属于集成光子器件与半导体制造技术领域。本发明的微环谐振器，包括微环结构和总线波导，所述微环谐振器的材料包括AlxGa1‑xAs，其中x＞0.4。本发明提供的微环谐振器是一种集成的O波段微环谐振器，该谐振器具有高效率、小型化和集成化的特点，相对于现有的氮化硅和铌酸锂微环谐振器，具有相当的品质因子，同时产生光频梳的阈值低至微瓦量级。本发明的微环谐振器采用Al组分大于0.4的AlGaAs材料，有效降低了双光子吸收(TPA)现象带来的损耗，提高了光频梳的生成效率和稳定性。