一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法，方法包括：采集机械臂运动过程中的关节速度、振动加速度和末端受力数据，构建数据集；利用频谱分析和傅里叶变换对数据进行特征提取，构建稳定性评估策略，实时判断机械臂运动稳定性；当检测到不稳定状态时，使用预训练的聚类支持向量机模型进行故障原因诊断；根据诊断结果，动态调整机械臂PID控制器增益值和关节阻尼补偿系数，生成新的控制律并应用于机械臂；控制调整后，持续监测稳定性，直至机械臂恢复稳定。本发明方法实现了机械臂稳定性的自动评估、故障诊断和控制优化，提高了晶圆清洗设备的可靠性和效率。