一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品

本发明涉及一种光刻胶显影速率模型的建模方法及相关产品。建模方法包括根据已获取的掩模版图的预设计算范围内的掩模图像，计算出预设计算范围内的预设采样窗口内的图形密度图；根据图形密度图计算获得显影速率调整模型；利用显影速率调整模型对已获取的基本光刻胶显影速率模型进行调整，得到调整后的光刻胶显影速率模型。本建模方法可反映显影过程中的显影负载，提高光刻胶显影速率模型的仿真准确度。