一种形貌参数的提取方法、装置、设备及可读存储介质

本申请公开了一种形貌参数的提取方法、装置、设备及可读存储介质，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取待测纳米结构的实测散射图谱；确定与所述待测纳米结构对应的待测形貌参数；基于所述待测形貌参数，确定与所述待测纳米结构对应的理论散射图谱；基于所述理论散射图谱和所述实测散射图谱构建评价函数；基于所述评价函数和非梯度优化算法，确定所述待测形貌参数对应的初始参数值；基于所述评价函数和梯度优化算法对所述初始参数值进行优化，得到与所述待测形貌参数对应的目标参数值。如此，结合梯度优化算法和非梯度优化算法，先寻找参数解的相对位置然后精细求解待测纳米结构的形貌参数值，从而提高了形貌参数计算的准确性。