一种LED芯片固晶机摆臂控制系统及控制方法

本发明涉及半导体生产设备技术领域，具体而言，涉及一种LED芯片固晶机摆臂控制系统及控制方法，包括基座、摆动机构、升降机构和图像检测机构，其中，基座上设置有环载台，摆动机构设置有轨迹盘、摆臂组件、回转驱动和曲柄组件，曲柄组件沿竖直方向和回转驱动连接；轨迹盘沿竖直方向和基座滑动连接，摆臂组件的一端和轨迹盘连接，曲柄的一端和摆臂组件滑动连接；摆臂组件的一端设置有吸嘴；升降机构用于控制轨迹盘沿竖直方向运动；图像检测机构于环载台上方设置有CCD相机，通过本结构的设计，曲柄组件的一端通过在摆臂上做直线运动，从而控制摆臂组件在轨迹盘上进行转动，不断调整摆臂组件的重心位置，从而能够有效地抑制摆臂组件的末端振动。