一种单光子雪崩光电探测器线阵的制作方法

本发明公开了一种单光子雪崩光电探测器线阵的制作方法，其涉及探测器线阵技术领域，旨在解决现有的对于大型阵列探测器，如线阵和面阵来说，其单片集成的成品率极其低，盲元率较高的问题，其技术方案要点是包括S1：线阵单元制备,首先准备好陶瓷基板，并在陶瓷基板上烧结多组等间距分布的SPAD芯片单元，使多组等间距分布的SPAD芯片单元形成一个线阵单元；S2：制备底座，焊接一组U型支架底座，并将一组线阵单元烧结在U型支架底座的底面上端；S3：分束镜安装将分束镜烧结在U型支架底座中，使分束镜倾斜安装在U型支架对角线位置；S4完成安装，将另一个线阵单元烧结到U型支架底座的侧面完成安装。达到，降低了像元间串扰、降低盲元率的效果。