摘要
本发明描述了一种具有用于芯片识别的识别器件的半导体器件、半导体结构,还描述了一种制造半导体结构的方法。半导体结构包括:第一沟道结构和第二沟道结构,位于衬底上;栅极结构,位于第一沟道结构和第二沟道结构上;外延结构,位于第一沟道结构和第二沟道结构上;以及第一源极/漏极(S/D)接触件结构,位于第一沟道结构上。外延结构位于栅极结构的第一侧,并且第一S/D接触件结构位于栅极结构的与第一侧相对的第二侧。半导体结构还包括第二S/D接触件结构,位于第二沟道结构上。第二S/D接触件结构位于栅极结构的第二侧。
技术关键词
沟道结构
接触件结构
栅极结构
半导体结构
外延结构
半导体器件
晶体管
衬底
掺杂剂
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
外延结构
砷化镓衬底
半导体层
缓冲层
欧姆接触层
分布式布拉格反射镜
发光二极管芯片
氮化物发光二极管
埋层结构
阵列
栅极切口
间隔件结构
栅极电介质
栅极结构
集成电路
短波蓝光
量子阱发光层
LED外延结构
多波段
GaN层