摘要
本发明属于集成光学、惯性传感技术领域,具体涉及一种全片上集成光子芯片陀螺。所述硅基异质集成芯片上集成的有源器件包含:SLD光源、薄膜铌酸锂调制器、探测器;所述硅基异质集成芯片上集成的无源器件包含:隔离器、一分二耦合器、起偏器、一分二耦合器、片上波导环;所述硅基异质集成芯片上还集成有:模斑转换器、弯曲波导、弯曲波导、模斑转换器。
技术关键词
集成光子芯片
铌酸锂调制器
异质集成芯片
模斑转换器
倒锥结构
SLD光源
陀螺
薄膜
隔离器
探测器
多模干涉结构
惯性传感技术
弯曲
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