多晶硅生产设备表面的缺陷检测方法、装置、介质和设备

本发明公开了多晶硅生产设备表面的缺陷检测方法、装置、介质和设备，涉及金属设备表面缺陷检测的技术领域。该方法包括：将全维度动态卷积算法和空间金字塔池化模块集成至YOLOv8网络的深度八度检测网络中，并且将高效通道注意力模块添加至YOLOv8网络的三重八度检测头网络中，并且将YOLOv8网络中的交并比函数替换为加权交并比损失函数，得到改进的YOLOv8网络；将带有标注的多晶硅生产设备表面缺陷图像输入改进的YOLOv8网络进行训练，得到设备缺陷检测模型；将采集的多晶硅生产设备表面缺陷图像输入设备缺陷检测模型，得到多晶硅生产设备表面缺陷的检测结果。通过上述方案，提高了对多晶硅生产设备表面缺陷的检测精度及检测效率。