基于机器视觉和激光位移引导的高精度点样系统及方法

本发明公开了一种基于机器视觉和激光位移引导的高精度点样系统和方法，系统包括视觉系统和激光位移传感器。本发明通过机器视觉对检测芯片进行精准定位，用机器视觉算法精确引导点样针，将样本点到目标点样点。同时，利用激光位移传感器测得检测芯片相对于点样针的高度，对每个目标点样点的点样高度进行矫正，从而避免溶液在针尖残留以及点样针针尖划伤待检测芯片表面。