一种磁场聚焦校正电子束加速系统及方法

本发明公开了一种磁场聚焦校正电子束加速系统，包含：电子枪用纳米复合阴极材料，结构优化控发射；加速管多级且谐振频率可调，有准直装置；聚焦线圈超导绕制，磁场优且强度能调；校正线圈三维立体多子线圈独立控制；控制系统含传感器等，基于机器学习智能控制，实现对电子束聚焦与校正，各部件协同工作确保电子束在加速过程中保持良好状态，满足多种应用场景需求，如电子显微镜、电子束光刻等领域对电子束高精度控制要求。本发明实现电子束高精度控制，加速高效且能量稳定，聚焦与校正精确，控制系统智能自适应，提升束流品质，保障系统性能持续优化与可靠运行，推动多领域发展。