垂直差分电感结构及其制备方法

本发明提供了一种垂直差分电感结构及其制备方法，该结构包括两个电感单元，各电感单元包括至少一个垂直螺旋线圈、第一连接端和第二连接端。垂直螺旋线圈通过金属层堆叠的形成方式，减小了单层电感的面积。并且两个电感单元的第一连接端均连接至第一抽头或者分别连接至两个第二抽头，两个电感单元的第二连接端分别连接至两个第二抽头或均连接至第一抽头。两个电感单元相对于第一抽头所在的垂直面对称，以形成差分电感结构，提高了电感结构的品质因数和抗干扰能力，使得本发明的电感结构在减小所占芯片面积的同时兼具较高的Q值。