摘要
引线框及其制造工艺,涉及半导体制造技术领域。引线框的内脚边缘预设宽度的区域未被电镀层覆盖,制造工艺为:首先在金属基板表面电镀形成电镀层,电镀层覆盖并超出设计的内脚的区域,以在蚀刻金属基板后电镀层在内脚上向侧方伸出悬空;蚀刻金属基板形成引线框的线路后,保留蚀刻金属基板时覆盖在金属基板及电镀层上的保护层,做去除电镀层处理,去除掉内脚边缘预设宽度的区域上覆盖的电镀层,以使内脚边缘预设宽度的区域未被电镀层覆盖而露出。如此即可消除二次对位公差的影响,各个panel的电镀层的位置一致,且其中心位置均与内脚的中心位置重合,确保封装芯片时焊线在电镀层上,各个panel出产的引线框产品的品质稳定,可靠性更高。
技术关键词
电镀
金属基板表面
引线框
蚀刻
封装芯片
全覆盖
线路
半导体
公差
系统为您推荐了相关专利信息
转接板结构
封装芯片
板对板连接器
测试板卡
焊点
金属网格
超表面器件
透明电极层
透明柔性材料
超表面结构
图案特征
芯片叠层结构
封装芯片结构
红外相机
高带宽存储器