引线框及其制造工艺

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引线框及其制造工艺
申请号:CN202411973528
申请日期:2024-12-30
公开号:CN119852183A
公开日期:2025-04-18
类型:发明专利
摘要
引线框及其制造工艺,涉及半导体制造技术领域。引线框的内脚边缘预设宽度的区域未被电镀层覆盖,制造工艺为:首先在金属基板表面电镀形成电镀层,电镀层覆盖并超出设计的内脚的区域,以在蚀刻金属基板后电镀层在内脚上向侧方伸出悬空;蚀刻金属基板形成引线框的线路后,保留蚀刻金属基板时覆盖在金属基板及电镀层上的保护层,做去除电镀层处理,去除掉内脚边缘预设宽度的区域上覆盖的电镀层,以使内脚边缘预设宽度的区域未被电镀层覆盖而露出。如此即可消除二次对位公差的影响,各个panel的电镀层的位置一致,且其中心位置均与内脚的中心位置重合,确保封装芯片时焊线在电镀层上,各个panel出产的引线框产品的品质稳定,可靠性更高。
技术关键词
电镀 金属基板表面 引线框 蚀刻 封装芯片 全覆盖 线路 半导体 公差
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