PVD加工的监测方法、PVD加工预测模型训练方法及相关设备

本申请涉及监测领域，提供一种PVD加工的监测方法、PVD加工预测模型训练方法及相关设备。PVD加工的监测方法包括：获取加工设备在加工产品时的PVD加工数据；对PVD加工数据进行特征处理，得到PVD加工特征，PVD加工数据包括多种PVD加工因子，对应地，PVD加工特征包括多种PVD特征因子；将多种PVD特征因子输入PVD加工预测模型，得到产品脱膜值，上述方法能够准确地预测出产品的脱膜情况，以便分析出对产品脱膜值起重要影响的PVD加工因子，以此动态调整加工设备或PVD加工预测模型实时监控重要PVD加工因子。