一种用于晶圆传输的机械手装置

本实用新型公开了一种用于晶圆传输的机械手装置，包括：机械手指、固定模块和机械臂；所述机械手指通过固定模块与机械臂连接，机械手指用于承载晶圆；机械手指上均布有多个防滑垫，所述防滑垫用于提供摩擦力，以防止晶圆滑动；所述固定模块上设有调平组件，所述调平组件用于实现机械手指进行水平校准。本实用新型具有结构紧凑、体积小巧、稳定性高等特点，弥补了现有技术中夹持式、真空吸附等机械手指的使用空间的局限性。