一种半导体芯片表面抛光装置

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一种半导体芯片表面抛光装置
申请号:CN202421345370
申请日期:2024-06-13
公开号:CN222553173U
公开日期:2025-03-04
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片表面抛光装置,包括机台和抛光机本体,机台顶端开设有滑槽,机台中心上固设有放置台,滑槽内部滑动连接有两个相对称的滑块,机台上设置有带动机构,两个滑块顶端固设有L型移动板,移动板一侧固设有移动杆,移动杆远离移动板的一端固设有移动块,移动块一侧开设有滑动槽,滑动槽内部滑动连接有滑动块,滑动块远离滑动槽的一端固设有夹紧块,夹紧块上固设有橡胶垫,移动块上设置有升降机构。本实用新型结构合理,通过带动机构的设置可分别带动两个滑块相互靠近,直至两个夹紧块和橡胶垫夹紧半导体芯片,通过升降机构的设置可调节两个夹紧块和橡胶垫的高度,最终可便于对不同厚度的半导体芯片进行夹紧。
技术关键词
半导体芯片表面 抛光装置 机台 滑动块 移动块 升降机构 夹紧块 移动板 移动杆 橡胶垫 升降杆 顶端 抛光机 滑块 内螺纹槽 滑槽 外螺纹 电机 螺旋
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