一种用于硅片研磨机的自动上下料设备

本实用新型公开了一种用于硅片研磨机的自动上下料设备，包括：硅片研磨机；硅片上料机构，其包括有硅片卡匣承载台、硅片搬运机器人、上料中转平台及上料搬运组件，所述上料搬运组件位于所述硅片研磨机的一侧；硅片下料机构，其位于所述硅片研磨机的一侧，所述硅片下料机构包括下料搬运组件及下料中转平台。本实用新型使用各类机械手及中转机构配合视觉定位，视觉碎片检查等系统实现了全自动化的硅片研磨上下料生产，节约的人力的同时大幅度提高了研磨机单工作日内的生产产能，对未规划自动化的硅片制造工厂提升整体产能有重大的突破；其次设计了用于对硅片研磨机清洗的喷洗机构，实现对硅片研磨机的自动清洗，可以降低设备维护频率。