一种用于晶圆盒的夹具及机器人

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一种用于晶圆盒的夹具及机器人
申请号:CN202421509732
申请日期:2024-06-27
公开号:CN222904074U
公开日期:2025-05-27
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及夹具技术领域,公开了一种用于晶圆盒的夹具及机器人,所述夹具包括安装支架、驱动组件、夹爪组件和传动组件,安装支架包括沿水平方向设置的第一安装板;驱动组件设于安装支架的内部,驱动组件包括驱动电机、第一驱动块和第二驱动块,第一驱动块和第二驱动块沿竖直方向滑动设于驱动电机的侧面;夹爪组件包括第一夹爪和第二夹爪;传动组件包括第一传动件和第二传动件,第一传动件和第二传动件均与第一安装板滑动连接,驱动电机用于驱动第一驱动块与第二驱动块沿相互靠近或相互背离的方向运动,以使第一传动件与第二传动件沿第一安装板滑动。本实用新型旨在解决夹具的驱动组件作为主要受力部件,容易因受力过大而损坏的技术问题。
技术关键词
传动件 晶圆盒 安装支架 物料检测装置 驱动组件 安装板 夹爪组件 压力检测装置 传动组件 驱动块 控制组件 机器人 机械手 夹具技术 风琴罩 电机 塑胶件 受力
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