一种用于晶圆盒的搬运机器人

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一种用于晶圆盒的搬运机器人
申请号:CN202421512837
申请日期:2024-06-27
公开号:CN222914754U
公开日期:2025-05-27
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及机器人技术领域,公开了一种用于晶圆盒的搬运机器人,其包括机器人本体和储位模块,所述机器人本体设有承载平台;所述储位模块包括包括支撑板、第一固定块和第二固定块,所述支撑板设于所述承载平台上,所述第一固定块与所述第二固定块沿横向间隔设置于所述支撑板上,所述第一固定块和所述第二固定块设有间隔排列的限位件,所述第一固定块、所述第二固定块与所述限位件形成储位单元,所述储位单元用于放置所述晶圆盒,所述限位件用于抵接于所述晶圆盒的外周。本申请的搬运机器人旨在决当前使用的机器人在执行开放式晶圆盒运输任务时,无法提供足够的稳定性和安全性保障的技术问题。
技术关键词
搬运机器人 晶圆盒 承载平台 压力检测元件 机器人本体 减震模块 限位件 移动底盘 机械手 机器人技术 斜面 弹性件 夹具 雷达 阵列
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