一种保护装置和真空度传感器

本实用新型公开了一种保护装置和真空度传感器，涉及真空度检测技术领域，以解决在检测前因微颗粒或水汽等进入MEMS芯片导致其失效的问题。该保护装置用于与连接组件连接并保护工件。连接组件包括壳体和第一连接件，壳体开设有贯穿壳体的安装孔，第一连接件设置于壳体的内壁，第一连接件开设有贯穿第一连接件的第一连接孔。保护装置包括：承载工件的基座，基座与柔性伸缩套管的第一端部密封连接，柔性伸缩套管的第二端部与壳体的内壁密封连接。基座在外力作用下可靠近或远离第一连接件，柔性伸缩套管的长度大于或等于基座的高度。第二连接件的第三端设置于基座，密封盖设置于第二连接件的第四端，密封盖在外力作用下可密封或远离第一连接孔。