开门装置及芯片加工装置

本实用新型提供了一种涉及芯片加工技术领域的开门装置及芯片加工装置，包括上板机、载台以及开门模组，机架设有上板机上，载台和开门模组分别连接于上板机的机架上；载台包括底座、定位机构以及传感器，底座上分别设有定位机构和传感器、且传感器位于定位机构周边。本实用新型通过传感器进行料盒底部高度的检测，防止料盒发生倾斜；配合定位结构的使用，有效提高料盒接触的稳定性；通过调压阀对两侧气缸进行设定气压差，保证料盒底部的加紧，实现料盒的对准和定位；且通过多个浮动对中单元的使用，有效降低摩擦力。采用上下开合方式的开门模组，节省了使用占地空间，整体结构简单合理，使用便捷，提高生产效率。