衬底处理装置

本申请涉及一种衬底处理装置，包括：装载台，装载台配置为接收第一衬底和第二衬底，并且包括用于对准第一衬底的第一衬底对准部分和用于对准第二衬底的第二衬底对准部分，第一衬底对准部分与第一衬底对准部分间隔开；涂覆台，配置为从装载台顺序地接收第一衬底和第二衬底，并且包括用于将第一化学溶液排放到第一衬底上的第一排放喷嘴和用于将第二化学溶液排放到第二衬底上的第二排放喷嘴；以及卸载台，配置为从涂覆台顺序卸载第一衬底和第二衬底。