一种硅片金属测试的自动制样取样装置

本实用新型涉及一种硅片金属测试的自动制样取样装置，包括底座，所述的底座上端设置有外框架，该外框架顶部设有排风管，所述的底座上端中部安装有制样台，该制样台用于倾斜放置硅片，所述的底座上端位于制样台的后方安装有两个机械臂，其中一个机械臂上端设置有制样管，另一个机械臂上端设置有取样管，所述的制样管一端连接有扫描液瓶，该制样管与扫描液瓶之间设置有蠕动泵，所述的取样管一端连接有ICP‑MS进样器，该取样管另一端安装有非接触式气泡传感器。本实用新型能够实现自动化制样和取样，解决了传统手动操作引入沾污的问题，还能避免操作员直接接触扫描液，减少对人体的危害。