摘要
本实用新型公开了一种转盘式芯片高效自动摆盘设备,其包括转盘式搬运装置,所述转盘式搬运装置的外边缘沿周向等角度设置有若干个吸附搬运机构;在所述转盘式搬运装置的外周且沿输送方向依次设置有晶圆供料机构、使芯片绕竖轴旋转实现方向调整的旋转装置、使芯片绕水平轴旋转实现翻面的翻面装置、接收所述转盘式搬运装置所搬运芯片的芯片收料装置以及次品回收机构,所述晶圆供料机构与所述转盘式搬运装置之间设置有芯片分离转移装置,所述芯片分离转移装置的上方设置有芯片检测装置,所述晶圆供料机构的相对侧设置有晶圆夹取机构。本实用新型采用转盘式搬运装置,能高效率的完成芯片的搬运,而且整个设备布局紧凑,节约空间。
技术关键词
摆盘设备
搬运装置
料盘供料机构
转移装置
搬运机构
安装支架
驱动模组
芯片检测装置
存储机构
移动定位机构
回收机构
输送模组
晶圆
收料装置
夹取模组
安装盘
驱动件
顶针机构
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