晶圆重构治具和晶圆扇出封装设备

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晶圆重构治具和晶圆扇出封装设备
申请号:CN202421641605
申请日期:2024-07-11
公开号:CN222838827U
公开日期:2025-05-06
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型实施例提供的一种晶圆重构治具和晶圆扇出封装设备,涉及半导体封装技术领域。该晶圆重构治具包括底座。底座上设有晶圆放置区,晶圆放置区用于承载晶圆。底座上设有定位识别部,定位识别部位于晶圆放置区的外围。定位识别部上设有凹槽或定位柱。由于在晶圆重构治具的底座上设有定位识别部,在底座上贴装芯片时,可以以定位识别部作为参考基准进行贴装定位,有利于提高芯片贴装的定位精度,提高重构晶圆的封装质量。
技术关键词
重构 晶圆 封装设备 半导体封装技术 底座可拆卸 凹槽 贴片机 涂胶机 外周面 芯片 载台 半圆形 定位块 基准 腔体
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