一种带U型波导的硅光芯片结构

本实用新型涉及硅光芯片技术领域，且公开了一种带U型波导的硅光芯片结构，包括硅光芯片，硅光芯片的普通波导两侧分别刻蚀一组U型波导，U型波导和普通波导一起耦合对接光纤阵列上的光纤，光纤阵列上的若干个光纤安装在光纤阵列组件上，本实用新型通过两个U型波导设计，在耦合时，外置光源光信号从51号57号光纤输入到硅光芯片，通过U型波导后，光信号从52号58号光纤输出，监控52号58号光纤的输出光信号，即可完成耦合，从而达到整个耦合过程，不需要电信号，即不需要给LD加电，也不需要监控MPD响应电流，简化耦合过程，去除供电治具，缩短耦合工时。