X射线荧光分析仪

本实用新型提供了一种X射线荧光分析仪，包括：第一腔体，所述第一腔体包括多个载台，所述载台用于放置晶圆；第二腔体，包括X射线检测器；移动装置，用以将所述晶圆转移至所述第二腔体内，以使所述X射线检测器检测所述晶圆的标定位置薄膜的膜厚；真空泵，用以抽取所述第一腔体和所述第二腔体内的气体，以使所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力达到预设压力。本实用新型通过在第一腔体内增设载台的数量，当检测与载台同等数量的晶圆标定位置处的薄膜时，所有晶圆可同时转移至第一腔体，以使第一腔体进行抽真空以及破真空，减少检测时抽真空和破真空的次数，进而减少检测时间，提高分析仪的检测效率。