一种检测装置

本实用新型公开了一种检测装置，包括：传感器模块，包括图像传感器和距离传感器，用于检测晶圆外周与承载台上的聚焦环的间距及晶圆的边缘位置与距离传感器的间距；处理器模块，与传感器模块通信连接以调节各个传感器的开闭，并接收各个传感器的检测数据以判断晶圆的校准状态；供电模块，包括间隔设置的感应线圈和发射线圈，发射线圈连通交流电源，感应线圈在交流电源启动后产生感应电流，感应线圈导通连接有电容和整流电路，整流电路用于将交流电转化为直流电，感应线圈通过集成电路板与传感器模块和处理器模块导通连接。本实用新型通过无线供电方式降低电池对检测装置的水平度影响，结合不同种类的传感器实现晶圆的有效校准检测。