一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置

一种减轻晶圆外延设备颗粒粉尘的装置，包括：吸附装置，以保证颗粒粉尘不会外溢；大气机械手，用于抓取、放置基板、载板环以及载板盘的组合体以及搬运，吸附装置包括腔室，腔室内设有吸尘风管、吹吸清洁头以及下清洁头，吸附装置内还设有旋转机构。通过吹吸清洁头、下清洁头以及旋转机构三者的配合，可以将基板、载板环和载板盘以及它们的组合体上下表面的颗粒粉尘吸附清洁，还能防止载板环和载板盘的颗粒粉尘的积累量超过一定的阈值，造成不良率，大大提高了工厂的生产效率，以及降低生产成本；通过设置大气机械手，载板盘掉落的颗粒粉尘只会污染在防护套的上表面，不会造成载板盘颗粒粉尘的交叉污染。