摘要
本申请涉及芯片缺陷检测领域,更具体地涉及一种用于芯片清洗前后的缺陷检测设备,其中用于芯片清洗前后的缺陷检测设备,包括:一架体组件,架体组件被固定在外部芯片清洗装置的一侧,且架体组件包括两第一连接板,两第一连接板相对设置,并间隔预定距离,且两第一连接板的一侧均被固定在外部清洗装置的外壳,架体组件还包括一第二连接板,第二连接板横向设置,且第二连接板的两端分别被架设在两第一连接板的顶部;以及多个间隔设置的第四连接板,第四连接板被固定在第二连接板靠近第一连接板的一侧,且在每一第四连接板上还安装至少一相机。本实用新型能通过有效地利用其自身的结构配置实现使用方便、结构简单、拆装便捷、实用性高的优势。
技术关键词
缺陷检测设备
支撑组件
架体组件
芯片清洗装置
支撑杆
照明灯
芯片缺陷检测
相机
外壳
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