摘要
本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种用于智能搬运机器人的角度调节装置。其包括底部安装板、设置在所述底部安装板的传动组件、分别安装在所述传动组件两端且受所述传动组件驱动的片篮工装,所述片篮工装包括L型的工装板、设置在工装板两侧的侧板、设置在所述工装板的底面前端的支撑块、设置在所述工装板的底面两侧的限位块、设置所述工装板的侧面底部的底部限位块、以及设置在所述工装板的侧面上部的顶部限位块,在所述底部限位块以及顶部限位块上设置有感应器。本实用新型的有益之处:本技术方案通过传动组件驱动带动工装,以此适用于不同设备进行加工,并且通过设置配合片篮使用的工装限位结构,有效的对其限位,快速定位。
技术关键词
智能搬运机器人
角度调节装置
传动组件
传动辊
角度感应器
工装板
限位块
感应片
安装板
支撑块
限位结构
硅片
电机
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