晶圆承载装置和湿法刻蚀设备

本实用新型涉及一种晶圆承载装置和湿法刻蚀设备，该晶圆承载装置包括输运装置和旋转装置，输运装置被配置为驱动晶圆移动，以将晶圆沿第一方向移入或移出刻蚀液，旋转装置包括装载组件和与装载组件连接的驱动机构，装载组件用于装载晶圆，驱动机构被配置为驱动装载组件绕沿第二方向延伸的预设轴线旋转，以带动晶圆在刻蚀液内旋转，第一方向和第二方向相交；其中，输运装置包括第一驱动装置和/或第二驱动装置：第一驱动装置与旋转装置连接，第一驱动装置被配置为驱动旋转装置沿第一方向移动，第二驱动装置被配置为将晶圆沿第一方向装入装载组件中或由装载组件中取出。湿法刻蚀设备包括上述晶圆承载装置。