MEMS器件、麦克风及电子产品

本实用新型公开了一种MEMS器件、麦克风及电子产品，MEMS器件包括：基板，所述基板上设有沿其厚度方向贯通的导声孔；壳体，所述壳体设在所述基板上，所述壳体与所述基板配合限定出用于容纳元器件的容纳腔，所述壳体上设有泄声孔；泄气结构件，所述泄气结构件设在所述泄声孔内，所述泄气结构件可打开或闭合，以平衡所述壳体内外的压力。本实用新型的MEMS器件，在壳体上设置泄声孔，并且通过在泄声孔内设置泄气结构件，当MEMS器件内部的气压大于外部环境气压时，泄气结构件可以打开，释放容纳腔内的压力，从而及时有效的保证壳体内外的气压平衡，提升器件的声学性能，保证器件的可靠性。