摘要
本公开提供了一种晶圆,涉及芯片检测技术领域,旨在能够快速的对晶圆进行电气特性测试。晶圆包括多个曝光单元,曝光单元包括阵列排布的多个制造单元,多个曝光单元至少包括多个第一曝光单元,第一曝光单元中,任意一行制造单元均为待测制造单元或均为非待测制造单元,或者,任意一列制造单元均为待测制造单元或均为非待测制造单元,待测制造单元包括至少一个测试焊盘。
技术关键词
测试焊盘
导电层
衬底
介质
导电图案
芯片检测技术
晶圆
阵列
尺寸
电气
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