一种晶圆

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一种晶圆
申请号:CN202422690009
申请日期:2024-11-05
公开号:CN222440599U
公开日期:2025-02-07
类型:实用新型专利
摘要
本公开提供了一种晶圆,涉及芯片检测技术领域,旨在能够快速的对晶圆进行电气特性测试。晶圆包括多个曝光单元,曝光单元包括阵列排布的多个制造单元,多个曝光单元至少包括多个第一曝光单元,第一曝光单元中,任意一行制造单元均为待测制造单元或均为非待测制造单元,或者,任意一列制造单元均为待测制造单元或均为非待测制造单元,待测制造单元包括至少一个测试焊盘。
技术关键词
测试焊盘 导电层 衬底 介质 导电图案 芯片检测技术 晶圆 阵列 尺寸 电气
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