摘要
本实用新型涉及半导体器件技术,公开一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片,包括:衬底,以及在衬底正面挖空处设置的P阱区;两个纵向穿过P阱区的Poly栅极,在两个Poly栅极之间的P阱区上表面挖空处设置的硅化物区;在衬底正面、P阱区、Poly栅极之上设有氧化层,且氧化层还将Poly栅极与衬底、P阱区、硅化物区隔离;在氧化层、硅化物区之上设有介质层,以及纵向穿透介质层与硅化物区接触的正面金属层;在衬底背面之下依次设有缓冲层、P型掺杂层和背面金属层。本实用新型旨在使IGBT芯片具有天然的抗闩锁特性,以消除相应的闩锁效应。
技术关键词
IGBT芯片
背面金属层
衬底
氧化层
终端区结构
半导体器件技术
正面
介质
闩锁效应
金属栅极
缓冲层
双层结构
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