一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片

AITNT
正文
推荐专利
一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片
申请号:CN202422702496
申请日期:2024-11-06
公开号:CN223286135U
公开日期:2025-08-29
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及半导体器件技术,公开一种IGBT芯片的元胞区结构和IGBT芯片,包括:衬底,以及在衬底正面挖空处设置的P阱区;两个纵向穿过P阱区的Poly栅极,在两个Poly栅极之间的P阱区上表面挖空处设置的硅化物区;在衬底正面、P阱区、Poly栅极之上设有氧化层,且氧化层还将Poly栅极与衬底、P阱区、硅化物区隔离;在氧化层、硅化物区之上设有介质层,以及纵向穿透介质层与硅化物区接触的正面金属层;在衬底背面之下依次设有缓冲层、P型掺杂层和背面金属层。本实用新型旨在使IGBT芯片具有天然的抗闩锁特性,以消除相应的闩锁效应。
技术关键词
IGBT芯片 背面金属层 衬底 氧化层 终端区结构 半导体器件技术 正面 介质 闩锁效应 金属栅极 缓冲层 双层结构
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种高功率SOA外延结构、芯片及芯片的制备方法
外延结构 高功率 异质结结构 缓冲层 欧姆接触层
2
一种发光二极管芯片及其制备方法
发光二极管芯片 复合衬底 发光单元 外延 裂片工艺
3
自组装单层热界面材料的高通量筛选方法、系统、介质
高通量筛选方法 热界面材料 单层 界面相互作用 分子
4
微型发光二极管显示芯片及制备方法、显示装置
LED单元 发光模组 微型发光二极管 合光模组 驱动基板
5
一种GaN基蓝光半导体激光器芯片
半导体激光器芯片 GaN基蓝光 折射率系数 复合衬底 曲线
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号