摘要
本实用新型有关一种覆晶封装机,其包括有:一载体收放装置,利用载体输送轨道将载体由放料站输送至收料站;一芯片封装装置,设置于放料站与收料站之间,而将可升降的压合头设置于载体输送轨道上方,且将可升降的压合平台相对压合头设置于该载体输送轨道下方,压合头与压合平台具有加热器;一晶圆平台,设置于芯片封装装置的侧边而可于平行载体输送轨道的轴向平移;以及一芯片拾取装置,将拾取头设置于三轴机械手,拾取头利用三轴机械手于垂直载体输送轨道的平移轴、升降轴及旋转轴三轴移动,而自晶圆平台拾取芯片,并将芯片移交给压合头。藉此,令压合头与压合平台原地升降进行压合封装,具有提升压合精度及压合温度稳定性的功效。
技术关键词
输送轨道
芯片封装装置
芯片拾取装置
平台
载体
收放装置
晶圆卡匣
三轴机械手
压合头
加热器
旋转轴
精度
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