一种具有快速冷却功能的加热装置

本实用新型提供了一种具有快速冷却功能的加热装置，包括自下至上依次设置的基板、流道支撑组件、压缩弹簧、冷却流道组件和加热组件，基板上还安装气缸组件，气缸组件信号连接至外部的主控器，气缸组件用于通过流道支撑组件驱动冷却流道组件贴合或者远离加热组件，来实现加热组件对芯片的加热和快速冷却功能；压缩弹簧位于流道支撑组件和冷却流道组件之间。本实用新型所述的具有快速冷却功能的加热装置，能够在保持加热功率不变的情况下，快速将高温芯片治具降至常温，提高了冷却效率，降低了生产成本。