一种防碰撞夹爪装置

本申请公开了一种防碰撞夹爪装置，涉及晶圆加工技术领域，防碰撞夹爪装置包括相对设置的两个夹持机构以及驱动两个夹持机构沿第一方向靠近或远离的驱动机构；各夹持机构包括至少一个夹爪，夹爪包括连接部和夹持部，连接部具有沿第二方向相对的上端和下端，夹持部与连接部沿第二方向弹性连接，且夹持部至少部分从连接部的下端延伸出，至少一个连接部上安装有位于对应夹持部上方的接近传感器，接近传感器被配置为检测到夹持部靠近后发出接近信号以使与防碰撞夹爪装置配合的机械臂停止运行，避免夹爪进一步与置物台面碰撞，避免夹爪的损坏。