一种测试设备

本申请提供一种测试设备。本申请提供的测试设备，包括基座、用于夹持芯片结构的夹持机构、以及伺服推刀系统；夹持机构设置在基座上，夹持机构包括相对设置的第一夹板和第二夹板；第一夹板用于固定芯片结构的基板侧；第二夹板用于固定芯片结构的散热盖侧；伺服推刀系统包括控制器、与控制器电连接的伺服电机、以及由伺服电机驱动的推刀；第二夹板上设置有下刀槽；控制器，用于在测定所述芯片结构的剪切力时，控制推刀插入并卡合至下刀槽，并控制推刀沿着第一方向移动，直至芯片结构的基板和散热盖分离，以测试芯片结构的切应力；第一方向为基座所在的平面内、与第二方向垂直的方向；第二方向为第一夹板指向第二夹板的方向。