摘要
本实用新型提供一种芯片表面快速清洁装置,涉及芯片处理技术领域,包括圆形工作台,所述圆形工作台的内部转动安装有环形转板,所述环形转板的上表面均匀分布开设有若干个工件放置槽,所述工件放置槽内部设置有夹持机构,所述圆形工作台的一侧设置有驱动环形转板转动的驱动机构,所述圆形工作台的一侧还设置有用于清洁的清洗机构。本实用新型限位杆通过限位弹簧伸缩设置在连接套筒的内部,使整个环形保护罩可进行一定距离的上下活动,使环形保护罩在下移后能够与芯片表面一直保持贴合,从而具有更好的保护效果,使清洗机构在清洗芯片下表面时,空气中的灰尘不会飞溅至芯片已经清洗完成后的上表面,对芯片的清洁效果更好。
技术关键词
圆形工作台
清洁装置
清洁刷头
空心轴电机
芯片
清洗机构
环形
转板
夹紧气缸
调节丝杆
传动齿圈
安装箱
夹持机构
热风机
保护罩
限位滑块
限位弹簧
工件
输出端
通风管
系统为您推荐了相关专利信息
谐振式压力传感器
后级信号处理电路
模数转换器
集成系统
通用输入输出接口
ASIC芯片
相控阵雷达
输入接口电路
分机
幅相补偿方法
大坝渗压监测装置
主控模块
太阳能模块
振弦式传感器
实时时钟
功率芯片
智能功率模块
引线框架
高压驱动芯片
封装体