摘要
本申请提供了一种芯片清洗治具、清洗设备,涉及芯片清洗领域,芯片清洗治具包括:承载件,设置有若干个容纳槽,所述容纳槽包括槽口,所述槽口位于所述承载件的周缘处;限位件,包括若干个限位部,每个所述限位部对应一个所述容纳槽设置;移动件,与所述限位件连接,且所述移动件能够驱动所述限位件移动,并使所述限位部在第一预设状态与第二预设状态之间切换,当所述限位部处于所述第一预设状态时,所述限位部与所述承载件存在第一预设间距,当所述限位部处于所述第二预设状态时,每个所述限位部抵接于所述承载件上,且每个所述限位部封堵对应一个所述槽口。本申请增大了芯片的取放空间,提升了芯片取放的便捷性,从而能提升芯片的清洗效率。
技术关键词
限位件
移动件
芯片
承载件
清洗设备
底座可拆卸
伸缩件
导向件
间距
弹性件
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