摘要
本实用新型提出了一种多芯片封装的半导体激光器,该激光器包括管壳及管壳内部的多个等间距放置平台、多个激光芯片、多个准直透镜及中继热沉,还包括所述管壳侧壁上的多个窗口片和管壳引脚,其中管壳底部的等间距放置平台用于承载固定激光芯片,激光芯片的出光方向相同,准直透镜固定于激光芯片出光方向的前端,用于对激光芯片的出射激光进行准直,窗口片固定于管壳的侧壁上与激光芯片一一对应,准直后的激光通过窗口片传输到管壳的外部,形成多路等高的平行光束。本实用新型在密封的外壳内减少了慢轴耦合镜片及反射镜等,减小了密封外壳的光学元件耦合难度、外壳体积,降低了成本及提高了产品的可靠性。
技术关键词
半导体激光器
管壳引脚
准直透镜
多芯片封装
导热基板
氧化铝陶瓷基板
热沉
一体化透镜
反射滤光片
耦合镜片
回流焊工艺
金锡合金
碳化硅陶瓷
平台
非球面透镜
密封外壳
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一体化陶瓷
封装半导体激光器
光学组件
准直透镜
底板
半导体外延结构
扫描电子显微镜
半导体外延层结构
过氧化氢溶液
激光器芯片
荧光显微镜
光源系统
准直透镜
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光源模块
高速激光器芯片
外延
工艺控制参数
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三维空间模型
荧光成像系统
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中性密度滤光片
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