硅片用烘干槽

本实用新型公开了硅片用烘干槽，包括槽体，所述槽体内设置有热风管，所述槽体顶部开设有供硅片进出的开口，所述槽体顶部且位于开口的两侧分别设置有移动轨一和移动轨二，本实用新型通过驱动件带动两组密封门向相互远离的方向移动，使得密封门平移打开，得槽体上的开口露出，使得机械臂横移动作和烘干槽上的密封门的开门动作可以同时进行，不会发生相互干涉，使得机械臂横移到位的同时密封门打开到位，机械臂直接取放料，避免了烘干槽门打开时间过久导致内部温降问题，从而能降低烘干槽加热的能耗，同时减少了烘干槽开关门机械动作时间，可以有效的减少该工艺时间，提高硅片生产的产能。