一种干式等离子体洗消装备

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一种干式等离子体洗消装备
申请号:CN202422906602
申请日期:2024-11-27
公开号:CN223516670U
公开日期:2025-11-07
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种干式等离子体洗消装备,包括协作装置、等离子体反应器以及脉冲电源,所述等离子体反应器安装在协作装置上,协作装置负载所述等离子体反应器在三维空间内移动,脉冲电源通过导线和管线与等离子体反应器连接;还包括工作台,所述工作台用于放置待洗消的物品。本实用新型通过在协作装置上安装等离子体反应器,从而实现自动、高效、无污染的进行洗消工作。
技术关键词
等离子体反应器 协作装置 直线模组 工作台 脉冲电源 滑座 装备 摆动臂 Y轴 基座 吸附结构 机械臂 滑块 无污染 真空泵 导线 接口 支座 电机
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