摘要
本实用新型公开了一种面向光纤传感的扫描波长可调谐激光器,包括通过波导依次耦合连接的可调谐DFB激光器阵列芯片、无源光合路器芯片、半导体光放大器SOA和单模光纤,所述波导采用光子引线键合技术制作,SOA的出光端设置倾斜波导,倾斜波导的角度为6°~16°,端面采用抗反射AR镀膜。本实用新型通过光子引线键合技术,实现低成本矩阵式排布的可调谐DFB激光器阵列芯片、无源光合路器芯片和SOA之间低成本的高密度混合集成,降低制备成本,提高成品率。
技术关键词
波长可调谐激光器
DFB激光器
波导
AR镀膜
芯片
引线键合技术
传感
单模光纤
阵列
半导体光放大器
温度控制模块
谐振腔
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低成本
短波长
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