摘要
本实用新型涉及晶圆分选机技术领域,公开了双通道高效晶圆分选机,包括主体,所述主体的内部固定连接有驱动源,所述驱动源的驱动端固定连接有机械臂,所述机械臂一侧转动连接有两个转动块,两个所述转动块的内部均滑动连接有两个滑动块,所述滑动块的内侧固定连接有滑动板,所述滑动板的一侧固定连接有限制块,所述滑动板的外侧滑动连接有连接块,所述连接块远离限制块的一侧固定连接有夹具,所述主体的四周均固定连接有用于对其进行限制的限制组件。本实用新型中,而不需要为每种尺寸的晶圆都配备专门的分选设备,这对于半导体制造企业来说,可以大大降低设备采购成本,提高设备的资产利用率。
技术关键词
晶圆
滑动板
机械臂
分选机技术
滑动杆
滑动块
分选设备
控制面板
夹具
半导体
资产
企业
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