密封圈、机械臂晶圆承载结构及机械臂

本发明涉及半导体领域，特别是公开了一种密封圈、机械臂晶圆承载结构及机械臂，所述密封圈，其用于机械臂承载晶圆，密封圈下部形成有外延部；外延部用于将密封圈固定于机械臂的沟槽中。本发明结构简单、成本低，能继续使用通用 O 形圈或矩形圈轮廓，仅增加外延部和压固部，能实现密封圈稳定固定，制造难度和费用与常规方案持平甚至降低。