采用玻璃盖板的晶圆级封装结构

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采用玻璃盖板的晶圆级封装结构
申请号:CN202423134088
申请日期:2024-12-18
公开号:CN223598671U
公开日期:2025-11-25
类型:实用新型专利
摘要
本申请提供的一种采用玻璃盖板的晶圆级封装结构,涉及半导体封装技术领域。该结构包括玻璃盖板层、芯片、键合胶和导电层。玻璃盖板层具有第一凹槽,以及形成第一凹槽的周向壁面的支撑侧壁。芯片包括功能区和从功能区向外延伸的金属互联层。支撑侧壁通过键合胶固定在芯片上,以使功能区位于第一凹槽内,金属互联层至少部分延伸至第一凹槽外。导电层设于玻璃盖板层的外表面,且与金属互联层电连接。该结构密封性好,可靠性好,工艺简单,生产效率高。
技术关键词
玻璃盖板 金属互联层 支撑侧壁 封装结构 导电层 涂敷 芯片 半导体封装技术 凹槽 外圈 壁面 层叠
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