摘要
本申请提供的一种采用玻璃盖板的晶圆级封装结构,涉及半导体封装技术领域。该结构包括玻璃盖板层、芯片、键合胶和导电层。玻璃盖板层具有第一凹槽,以及形成第一凹槽的周向壁面的支撑侧壁。芯片包括功能区和从功能区向外延伸的金属互联层。支撑侧壁通过键合胶固定在芯片上,以使功能区位于第一凹槽内,金属互联层至少部分延伸至第一凹槽外。导电层设于玻璃盖板层的外表面,且与金属互联层电连接。该结构密封性好,可靠性好,工艺简单,生产效率高。
技术关键词
玻璃盖板
金属互联层
支撑侧壁
封装结构
导电层
涂敷
芯片
半导体封装技术
凹槽
外圈
壁面
层叠
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