一种高温注入设备的晶圆预加热装置

本实用新型涉及高温注入设备技术领域，尤其是一种高温注入设备的晶圆预加热装置，包括：机体以及安装在所述机体轴端上的第一机械臂；在所述第一机械臂的底座上通过连接组件固定连接有预热箱，所述预热箱的内部固定安装有第二机械臂；其中所述预热箱的前端开口，所述第二机械臂的夹持端沿所述开口进、出，以实现对晶圆的取拿，本实用新型中通过采用预热箱的设计，通过第二机械臂在移载晶圆时，可内置在预热箱中进行提前预热，可实现提前在传送至吸盘上之前加热晶圆,减少晶圆在吸盘上加热时间,从而提高生产效率，在第一机械臂移出和第二机械臂移进的配合下，使其拥有传输晶圆和加热晶圆的功能，进一步提升晶圆加热作业的效率。