参数生成方法和离子注入机

阐述用于将注入机制程模型反转以生成参数的技术。一种方法包括：通过经反转控制模型接收离子注入机的制程参数集合及相关联的值，经反转控制模型包括人工神经网络（ANN）；通过经反转控制模型，基于制程参数集合及相关联的值来预测离子注入机的控制参数集合及相关联的值；以及在电子显示器的图形使用者界面（GUI）上呈现控制参数集合及相关联的值。阐述并主张其他实施例。